机电净化工程|恒盛净化空调|机电净化工程施工方案

电子厂净化车间设计特点及对环境的要求

　　净：电子厂净化车间，尤其是微电子前工序和光电子前工序的净化车间对环境洁净度的要求越来越净。例如，机电净化工程，12吋园片**大规模集成电路前工序光刻间的洁净度要求高达1级(0.1μm)也就是每立方英尺空气中≥0.1 μm的粒子数不能**过1颗。相当于ISO 1级。特别重要的是它对环境空气提出了去除分子污染(SO2 ， Nox ， VOC ，NH3等)的要求。

　　精：电子厂净化车间生产工艺对环境空气温、湿度的控制精度要求越来越精。还以上述微电子的光刻间为例：其温度精度为±0.1℃，机电净化工程施工方案，相对湿度的精度为±3%。

　　纯：大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。例如：对高纯水而言，不仅对其电阻率有要求，而且对高纯水中所含粒子、细菌、重金属以及其他元素的离子成份都有严格的要求，随着电子厂净化车间的发展，对其纯度的要求也越来越高。可谓纯之又纯。

净化车间设备的安装程序与注意事项

　　1)如果可能就通过服务通道或其它非关键区进入隔离区。如果不可能，应采取措施尽量减少由结构造成的污染。流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压，避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。

　　2)完全密封的隔离区不应从内部加压，否则污染可能会穿透屏障，机电净化工程公司，影响周围的净化车间。隔离区内应该阻断洁净空气的送风，避免给周围的净化车间造成压力。如果只有通过相邻的洁净室才能进入隔离区，机电净化工程多少钱，应该采用粘性垫，除掉鞋子上带的污染。进入隔离区后，可能要求用一次性靴子或鞋套来避免污染洁净服。离开隔离区前要把这些一次性物品脱下。