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特种气体系统工程技术规范

     由于气体流量小，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架，配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。共用一个气体房，食品净化车间装修，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边。共用一个抽风系统。系统通常存在安全隐患。

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净化工程温湿度控制

湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，食品净化车间设计，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也*吸附于表面，保健食品净化车间，同时大量半导体器件*发生击穿。对于硅片生产zui佳湿度范围为35—45%。

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