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电子气体(Electronicgases)是**大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。在目前工艺技术较为先进的**大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，净化车间，全部工艺步骤**过450道，其*约要使用50种不同种类的电子气体。     **大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4（:四氢化硅）、N2O（一氧化二氮）、2、 C2F6（六氟乙烷） NH3（氨气）等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等大宗普通气体多采用现场制气(On-site)或工业园区管道(Pipeline)集中供应方式

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净化工程具体介绍

净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，SC食品洁净车间哪家好，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，净化工程而所给予特别设计之房间。我司业务范围面向全国，提供净化工程，洁净工程，洁净室、无尘室、净化室、无尘车间、空调净化、万级净化工程、千级洁净室、百级无尘室、**净间、净化无尘室、无菌净化工程、净化房。

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