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无尘车间洁净室管理制度

      主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。 进入的工人穿鞋套和工作服。所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。 在这部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。

1 洁净安装

必须采取洁净措施保持安装洁净。 各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。 洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。

2 洁净

洁净区域的所有安装完成后，要进行洁净。洁净要用IPA和水的混合物擦拭。先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，甘肃无尘车间，地面也很重要。洁净完成后，gridline B东边通过的区域将是只有一个进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。 洁净完成后，任何进入的人都必须通过现场经理的批准。

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无尘车间的节能原则

无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力**过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高效率的设计和高效率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。

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