四川净化工程,无锡恒盛净化空调,净化工程改造

净化工程规定

在我国，洁净净化工程，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的

垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s

水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s

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净化工程温湿度控制

湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，十万级净化工程，粘附的越难去掉，万级净化工程，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也*吸附于表面，同时大量半导体器件*发生击穿。对于硅片生产zui佳湿度范围为35—45%。

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