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无尘车间该如何防止微粒子污染呢？

排除/除去

在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，新建县无尘车间，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。

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无尘室内生产制造设备应注意的重点

无尘室内生产制造设备的选择、布置与保养以及防尘措施、实现自动化与无尘化的注意要点。

1.生产设备之选择、布置与保养：

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，做无尘车间，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以*清洁为原则。

e.真空泵等*产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，制药无尘车间，其构造须考虑到*清洁，电子无尘车间，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室**工具组，但不得带出无尘室外使用。

l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

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